產(chǎn)品特性：

·布置方式靈活。減振系統(tǒng)一般包含3或4個(gè)主動(dòng)減振器，可根據(jù)需求靈活布置，包括正三角形、等腰三角形、矩形分布等:也可加配被動(dòng)減振器提升減振系統(tǒng)負(fù)載能力。

·采用前饋及反饋控制技術(shù)，采用高算力處理器、亞毫秒級(jí)制動(dòng)器，進(jìn)行6自由度抑振控制，具有極佳的隔振、減振能力。

· 配置有運(yùn)動(dòng)前饋控制，快速整定臺(tái)面上部件運(yùn)動(dòng)帶來(lái)的沖擊擾動(dòng)，縮短臺(tái)面穩(wěn)定時(shí)間及平臺(tái)作業(yè)節(jié)拍時(shí)間，有效提升作業(yè)效率。

· 友好的人機(jī)交互界面，無(wú)需專業(yè)知識(shí)，一鍵啟動(dòng)減振。提供上位機(jī)程序向用戶開(kāi)放調(diào)試通道，便于追求極致性能的用戶自行調(diào)試。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說(shuō)明：

產(chǎn)品用途：

納米級(jí)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、半導(dǎo)體設(shè)備、精密加工設(shè)備、顯微測(cè)量等