產(chǎn)品特性：

· 結(jié)構(gòu)緊湊，布置距離可調(diào)，在6英寸尺寸范圍內(nèi)設(shè)計(jì)了高效的減振結(jié)構(gòu)，在最大程度上利用了尺寸空間，使得執(zhí)行器力矩最大化。

· 小尺寸的模塊化的主動(dòng)減振器，使得SEM電鏡內(nèi)置主動(dòng)減振成為可能。

· 可按需求實(shí)現(xiàn)靈活多變的布局/安裝方式，如內(nèi)置于設(shè)備中，置于設(shè)備地腳下，可以構(gòu)建出各種尺寸和類(lèi)型的主動(dòng)減振系統(tǒng)，以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。

· 6自由度振動(dòng)信號(hào)實(shí)時(shí)檢測(cè)，執(zhí)行器提供推力，主動(dòng)衰減振幅;

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說(shuō)明：

產(chǎn)品用途：

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、SEM/STM等