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· THA2系列氣浮式主動(dòng)減振,針對(duì)掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設(shè)備而研發(fā)。
· 采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振,即使在安裝現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動(dòng)時(shí),也能確保持續(xù)的振動(dòng)穩(wěn)定性
· 三思自研的THA主動(dòng)減振系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)6自由度主動(dòng)減振。前饋控制技術(shù)與反饋控制相結(jié)合,在低頻范圍提供出色的隔振效果·
· 可選電控自動(dòng)調(diào)平系統(tǒng)或機(jī)械調(diào)平系統(tǒng),自動(dòng)調(diào)整水平,一鍵啟動(dòng)減振。
顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備或微動(dòng)設(shè)備